清华科技园（昆山）位于昆山市西北部，西邻傀儡湖，东接森林公园，南、北分别以马鞍山路和萧林路为界。园区占地 51公顷，规划建筑面积50万平方米。

A地块研发和孵化区为技术研发、企业孵化提供场所及相关的服务；已完成13.7万平方米的规划及基础设施建设，科技大厦、天瑞大厦、创新大厦先后建成并投入使用，其他项目均已开始动工。A地块全部项目计划于2008年全部建成。B地块为教育培训和软件外包区，昆山国家级高新技术创业服务中心也坐落在此地块；B地块规划已全部完成，各项目将于2008年陆续开始建设。C地块为多功能配套服务区，为园区提供住宅及各类生活配套，目前已建成清枫花园别墅小区。规划中的昆山工业研究院坐落在D地块，根据昆山市的部署，工业研究院筹建工作已于2008年3月份启动。

根据发展需要，清华科技园（昆山）计划在昆山建设清华科技园科技产业化基地。基地位于昆山高新区，规划占地1000亩，目的是为技术孵化提供产业化空间；第一期100亩土地的规划和建设工作已经展开。